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废气检测四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加。
废气检测四氟化硅用途
高纯电子级四氟化硅(SiF4)作为电子工业重要原料之一,具有较高的氟硅比,被广泛应用于光纤、半导体或太阳能电池的生产,是电子产业核心制造业的基础。
1.高纯四氟化硅是电子和半导体行业中重要的电子特气之一,主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源,还可以用于制备电子级硅烷或多晶硅。
2.由于四氟化硅在高温火焰中水解可以产生具有高比表面积的热沉SiO2.还可以用于制作光导纤维用高纯石英玻璃。
3.在光纤生产技术中,四氟化硅是制造硅基半导体器件时所采用的离子注入法的重要成分。
4.四氟化硅还广泛应用于生产水泥、电子材料、太阳能电池元件、复印机感光鼓、特大规模集成电路等产业 。
废气检测随着激光在有机反应应用的发展,四氟化硅在光敏剂产业也得到了越来越广泛应用。更多内容可关注网站:http://www.lvdunjiance.com/