绿盟联合(天津)科技集团有限公司
电话:15122963036
手机号:15822768001
邮箱:lvmenglianhe@126.com
地址:天津市武清区下朱庄街道广贤路1491号
废气检测硫酸法将HSO4、SiO、氟化盐或氟硅酸盐混合通过“一锅法”反应制备四氟化硅。该方法因反应原料的差异可细分为氟硅酸盐-HSO.法、氟硅酸-HSO.法和萤石-H,SO.法等。硫酸法成本低且利用率较高,是硅行业发展之初较普遍的四氟化硅生产方法。
氟硅酸盐-H2SO4法是以浓 HSO.和氟硅酸盐为反应原料,在控制一定温度和压力的条件下进行反应。反应后经过冷却、吸附分离、干燥和提纯等工序得到四氟化硅。反应方程式为: 氟硅酸盐-硫酸法能有效地将磷肥副产物资源化利用,从而使经济效益大化,但该方法的缺点在于产生副产物多,杂质难以去除,生成的四氟化硅纯度 不够高,反应生成的氟化氢气体对环境污染大且容易对设备产生严重的腐蚀,工业化生产的可行性低。
废气检测以粉末硅单质和无水氢氟酸在250~300℃的条件下反应生成四氟化硅气体”。反应方程式为: 该反应中无催化剂及其他反应物质的加入,原料转化率较高、产量大。但产物中含有难分离的氟代硅氧烷和HF 气体、分离工艺复杂,造成产物提纯成本高。
氟硅酸盐热解法是通过直接加热氟化反应剂氟硅酸盐分解制备四氟化硅气体。反应方程式为: 用热分解纯六氟硅酸钠的方法制备高纯四氟化硅。将纯六氟硅酸钠加到装有电阻加热器的反应釜里,在真空或氨气流中在250℃下初步干燥,在500~620℃的真空条件下进行热分解。由于六氟硅酸钠的热分解是可逆反应,因此形成的四氟化硅被连续转移到金属容器中用液氮冷却,后通过过滤器除去悬浮颗粒,整个过程四氟化硅的收率接近。
废气检测氟硅酸盐热分解法具有反应单一、副产物较少和产品纯度高等优点,解决了行业发展环保问题的瓶颈。但是实验装置产量低,工业化生产难以实现。
氟硅酸是氟化工产业的重要潜在原料,该物质具有腐蚀性,其化学性质极不稳定,常温下易分解为四氟化硅气体和HF气体。工业上在不生成氟硅酸盐的情况下直接将氟硅酸热解作为生产四氟化硅气体的原料。反应方程式为:
废气检测该方法的工艺要求极高,分解出的氟化氢气体有毒性,生产过程中对作人员的危害极大,分解产生的氢氟酸气体会腐蚀设备,生产危害性大、成本高。 国内的高纯四氟化硅生产厂家普遍存在制备配方工艺复杂、生产能耗较高、生产成本居高不下、成品质量不够稳定、对环境污染较大等问题,在某种程度上制约了国产电子级高纯四氟化硅的产业化和推广应用,许多客户也因为以上种种原因不得不选择进口产品,因此如何在环保、成本、工艺复杂性和能耗等条件下,优化发展一条成熟稳定工业化生产工艺,出能应用于太阳能电池、光纤行业、新一代芯片制造专用的高纯硅烷电子特气,对推动国内氟硅材料产业和信息产业技术的发展具有重要的意义。